檢測信息（部分）

Q1：晶圓傳輸機械手的主要功能是什么？

A1：用于半導體制造過程中在真空環境下精準搬運晶圓，確保無污染傳輸。

Q2：這類設備適用于哪些工業場景？

A2：主要應用于集成電路制造、薄膜沉積、光刻工藝及高真空鍍膜等潔凈室環境。

Q3：真空兼容性試驗的核心目標是什么？

A3：驗證機械手在真空環境中材料放氣率、運動穩定性及顆粒釋放水平是否滿足半導體工藝要求。

Q4：檢測周期通常需要多久？

A4：依據測試項目復雜度，常規檢測周期為5-15個工作日。

Q5：檢測報告包含哪些關鍵結論？

A5：包含真空密封性評級、材料放氣數據、顆粒污染物數量及動態性能衰減曲線等核心參數。

檢測項目（部分）

• 真空密封性：評估機械手在負壓環境下的氣密表現
• 材料放氣率：測定零部件在真空中的揮發物釋放量
• 顆粒污染物：檢測運行產生的微米級顆粒數量
• 真空環境運動精度：驗證機械臂定位重復精度
• 溫度循環耐受性：檢測熱脹冷縮對結構的影響
• 分子污染等級：分析有機污染物沉積速率
• 真空摩擦系數：測量軸承在真空中的摩擦特性
• 電磁兼容性：檢驗真空艙內電磁干擾強度
• 振動頻譜分析：記錄運轉時的機械振動頻率
• 真空度保持能力：測試極限真空維持穩定性
• 材料質量損失：量化高溫真空下的材料損耗
• 表面電阻率：監測靜電積累風險
• 真空電弧測試：評估高壓部件的放電風險
• 潤滑劑揮發性：分析真空環境潤滑介質穩定性
• 磁流體密封性能：檢測旋轉關節密封有效性
• 殘余氣體分析：識別真空腔內氣體成分變化
• 運動軌跡偏差：測定多軸聯動位置誤差
• 真空冷焊效應：觀察金屬接觸面粘附現象
• 材料出氣成分：解析釋放氣體的化學組成
• 動態平衡特性：評估高速運動時的振動控制

檢測范圍（部分）

• 大氣機械手
• 真空直驅機械手
• 磁懸浮傳輸機械手
• SCARA型晶圓搬運手
• 雙臂協同傳輸系統
• 晶圓預對準機械手
• EFEM設備前端模塊
• 真空集群機械手
• 低溫傳輸機械手
• 300mm晶圓機械手
• 450mm晶圓搬運系統
• 硅片邊緣夾持手
• 真空機器人末端執行器
• 晶圓倒片機械手
• 無塵室軌道傳輸手
• 分子泵集成傳輸系統
• 超高真空多軸機械手
• 半導體負載端口機械手
• 光刻機專用傳輸臂
• FOUP開閉器集成手

檢測儀器（部分）

• 四級質譜儀
• 氦質譜檢漏臺
• 激光粒子計數器
• 超高真空模擬艙
• 納米精度運動分析儀
• 殘余氣體分析系統
• 熱脫附譜檢測儀
• 真空摩擦測試臺
• 分子污染監測裝置
• 六維力傳感器陣列

檢測優勢

檢測資質（部分）

檢測流程

1、中析檢測收到客戶的檢測需求委托。

2、確立檢測目標和檢測需求

3、所在實驗室檢測工程師進行報價。

4、客戶前期寄樣，將樣品寄送到相關實驗室。

5、工程師對樣品進行樣品初檢、入庫以及編號處理。

6、確認檢測需求，簽定保密協議書，保護客戶隱私。

7、成立對應檢測小組，為客戶安排檢測項目及試驗。

8、7-15個工作日完成試驗，具體日期請依據工程師提供的日期為準。

9、工程師整理檢測結果和數據，出具檢測報告書。

10、將報告以郵遞、傳真、電子郵件等方式送至客戶手中。

檢測優勢

1、旗下實驗室用于CMA/CNAS/ISO等資質、高新技術企業等多項榮譽證書。

2、檢測數據庫知識儲備大，檢測經驗豐富。

3、檢測周期短，檢測費用低。

4、可依據客戶需求定制試驗計劃。

5、檢測設備齊全，實驗室體系完整

6、檢測工程師 知識過硬，檢測經驗豐富。

7、可以運用36種語言編寫MSDS報告服務。

8、多家實驗室分支，支持上門取樣或寄樣檢測服務。

檢測實驗室（部分）

結語

以上為晶圓傳輸機械手真空兼容性試驗的檢測服務介紹,如有其他疑問可聯系在線工程師！