檢測信息（部分）

什么是外延片？

外延片是通過化學或物理沉積技術在襯底材料表面生長單晶或多晶薄膜的材料，廣泛應用于半導體、光電子等領域。

外延片檢測的主要用途是什么？

檢測用于評估外延層的晶體質量、厚度均勻性、成分純度及表面缺陷，確保其符合器件制造的性能要求。

檢測概要包含哪些內容？

檢測包括結構分析、成分檢測、電學性能測試及表面形貌觀測，覆蓋生產全流程的質量控制環節。

檢測項目（部分）

• 厚度均勻性：評估外延層厚度的分布一致性。
• 表面粗糙度：反映外延層表面平整度。
• 晶體缺陷密度：檢測位錯、層錯等晶體結構異常。
• 載流子濃度：衡量材料的電學傳導特性。
• 摻雜分布：分析摻雜元素在材料中的空間分布。
• 帶隙寬度：確定材料的能帶結構特性。
• 應力分布：檢測外延層與襯底間的熱應力匹配度。
• 界面態密度：評估異質結界面的電荷陷阱數量。
• 霍爾遷移率：表征載流子在電場下的遷移能力。
• 光致發光強度：反映材料的光學輻射效率。
• 元素成分比例：驗證化學組成的準確性。
• 擊穿電壓：測試材料在高電場下的耐受能力。
• 熱導率：評估材料的熱管理性能。
• 腐蝕速率：分析材料在特定環境中的化學穩定性。
• 反射率：測量材料表面對光的反射特性。
• 位錯類型：區分刃型位錯與螺型位錯。
• 層錯密度：統計晶體層間錯位缺陷數量。
• 薄膜附著力：測試外延層與襯底的結合強度。
• 電阻率：量化材料對電流的阻礙能力。
• 光學吸收系數：表征材料對特定波長光的吸收能力。

檢測范圍（部分）

• 硅基外延片
• 砷化鎵外延片
• 氮化鎵外延片
• 碳化硅外延片
• 磷化銦外延片
• 藍寶石襯底外延片
• SOI外延片
• 鍺基外延片
• 氧化鋅外延片
• 鋁鎵氮外延片
• 異質結外延片
• 量子阱外延片
• 超晶格外延片
• 多量子阱外延片
• 石墨烯復合外延片
• 柔性襯底外延片
• 金屬有機外延片
• 分子束外延片
• 液相外延片
• 氣相外延片

檢測儀器（部分）

• X射線衍射儀
• 掃描電子顯微鏡
• 原子力顯微鏡
• 二次離子質譜儀
• 霍爾效應測試系統
• 橢圓偏振儀
• 光致發光譜儀
• 臺階輪廓儀
• 傅里葉紅外光譜儀
• 四探針電阻測試儀

檢測標準（部分）

GB/T 1550-2018非本征半導體材料導電類型測試方法

GB/T 8758-2006砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

GB/T 12964-2018硅單晶拋光片

GB/T 14015-1992硅-蘭寶石外延片

GB/T 14139-2019硅外延片

GB/T 14146-2021硅外延層載流子濃度的測試 電容-電壓法

GB/T 14844-2018半導體材料牌號表示方法

GB/T 19921-2018硅拋光片表面顆粒測試方法

GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質譜檢測方法

GB/T 24578-2015硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

GB/T 26066-2010硅晶片上淺腐蝕坑檢測的測試方法

GB/T 30453-2013硅材料原生缺陷圖譜

GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片結晶質量測試方法

GB/T 30654-2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常數測試方法

GB/T 30655-2014氮化物LED外延片內量子效率測試方法

GB/T 30854-2014LED發光用氮化鎵基外延片

GB/T 30857-2014藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

GB/T 32279-2015硅片訂貨單格式輸入規范

GB/T 35308-2017太陽能電池用鍺基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片

GB/T 35310-2017200mm硅外延片

其他相關檢測標準，請咨詢在線工程師！

檢測優勢

檢測資質（部分）

檢測流程

1、中析檢測收到客戶的檢測需求委托。

2、確立檢測目標和檢測需求

3、所在實驗室檢測工程師進行報價。

4、客戶前期寄樣，將樣品寄送到相關實驗室。

5、工程師對樣品進行樣品初檢、入庫以及編號處理。

6、確認檢測需求，簽定保密協議書，保護客戶隱私。

7、成立對應檢測小組，為客戶安排檢測項目及試驗。

8、7-15個工作日完成試驗，具體日期請依據工程師提供的日期為準。

9、工程師整理檢測結果和數據，出具檢測報告書。

10、將報告以郵遞、傳真、電子郵件等方式送至客戶手中。

檢測優勢

1、旗下實驗室用于CMA/CNAS/ISO等資質、高新技術企業等多項榮譽證書。

2、檢測數據庫知識儲備大，檢測經驗豐富。

3、檢測周期短，檢測費用低。

4、可依據客戶需求定制試驗計劃。

5、檢測設備齊全，實驗室體系完整

6、檢測工程師 知識過硬，檢測經驗豐富。

7、可以運用36種語言編寫MSDS報告服務。

8、多家實驗室分支，支持上門取樣或寄樣檢測服務。

檢測實驗室（部分）

結語

以上為外延片檢測的檢測服務介紹,如有其他疑問可聯系在線工程師！